72 匹水冷防爆空调 第三代半导体碳化硅试剂储藏电控间防爆恒温控温系统

碳化硅晶圆制造产业园内，特种电子蚀刻试剂提纯、储存电控间存放碳化硅芯片蚀刻、清洗所需高纯异丙醇、无水乙醇、有机蚀刻液等挥发性有机溶剂，电控间全域划定为 ⅡBT4 防爆区域。电控间内部布置试剂输送泵控制柜、高精度液位监测主机，电子电控设备持续产热；电子试剂存储标准环境温度 21~25℃，室温过高会加速有机溶剂挥发，可燃蒸汽快速抵达爆炸临界值，同时液位传感器数据漂移，试剂输送计量失衡，大批量碳化硅晶圆蚀刻工序出现瑕疵报废，造成巨额原料损耗。

普通商用空调无防爆防腐设计，触点火花、机身腐蚀渗漏均属于重大安全隐患；风冷防爆空调外机长期接触车间酸性废气快速锈蚀，且半导体洁净厂房外墙多为负压无尘墙体，不允许开孔安装外机，破坏无尘防爆生产布局，各大碳化硅半导体产业园均存在试剂电控间制冷选型难题。

重庆英腾环境科技布局第三代半导体防爆温控赛道多年，建有洁净防爆设备测试实验室，研发的 72 匹水冷防爆空调适配 860㎡大型碳化硅电子试剂储藏电控间。水冷换热模式不占用厂房外墙空间，完整保留车间洁净负压布局，精准稳定维持试剂存储标准温度，减缓有机溶剂挥发速率。整机复合型一体化隔爆结构，全部带电元器件密封于独立隔爆腔体之内，风机采用增安防爆结构无摩擦电火花，即便电控间溶剂蒸汽泄漏积聚，机组不存在任何引燃热源，防爆等级匹配半导体危化试剂存储防爆规范。

蚀刻有机溶剂兼具酸性与强溶解腐蚀性，英腾对机组做耐溶剂重防腐处理，外壳涂刷多层抗溶解环氧涂层，换热盘管经过防腐钝化加工；进风滤芯选用耐溶剂吸附材质，拦截腐蚀性试剂蒸汽，避免机组管路被腐蚀渗漏，杜绝次生短路起火问题。水冷循环管路全部做保温防爆包裹处理，不存在高温金属外壁，不会加剧试剂挥发，水冷散热模式不受夏季厂房高温影响，制冷效果全年稳定，杜绝夏季室温飙升、溶剂大量挥发的安全事故。

机组搭载英腾防爆智能联动系统，可对接电控间可燃溶剂检测仪，当蒸汽浓度超标时，自动减缓室内空气对流速度，联动防爆排风系统排出可燃气体，并将故障报警推送至半导体车间中控平台，运维人员及时处置试剂储罐、管道泄漏故障。防爆电控箱外置在电控间门外，温度调试、设备检修全程在室外操作，工作人员无需进入充斥腐蚀性可燃蒸汽的密闭空间，规避防爆、化学腐蚀双重风险。整机轻量化模块化拆分设计，零部件能够单独拆装更换，厂区普通运维人员即可完成日常保养，缩短蚀刻试剂输送系统停机时间，防止碳化硅晶圆蚀刻工序断料停产。

半导体产业园危化品管控标准严苛，存放溶剂的电控区域所用电气设备必须持有权威防爆检测资质，英腾 72 匹水冷防爆空调出厂附带全套防爆合格证、腐蚀工况专项检测报告，一次性通过消防、安监多部门厂区验收，无后期改造开销。风冷防爆空调室外机极易被车间腐蚀废气损毁，更换与维护成本居高不下；英腾水冷机型没有室外暴露部件，整机拥有 15 年标准使用年限，年均维护耗材支出下降 46%，水冷节能换热体系减轻厂区变压器负荷，全天不间断生产模式下节电效果明显。重庆英腾环境科技可上门勘测半导体园区布局，免费出具洁净防爆温控整体方案，全国多地设立售后维保站点，质保周期长久，出现故障快速上门处置。设备兼顾电子试剂防爆、试剂恒温存放、电控设备稳定运行三大需求，现已批量应用于国内各大碳化硅产业园特种试剂电控间。